Uniform and Direction-Controllable Metal-Induced Lateral Crystallization for 3D NAND Flash Memory via $\text{NiSi}_{2}(111)$-Oriented Seed Layer Transfer

材料科学 图层(电子) 光电子学 结晶 闪光灯(摄影) 与非门 传输(计算) 闪存 非易失性存储器 过程(计算)
作者
Ohhyuk Kwon,Junyoung Lee,Jaemin Jung,Siyoung Yang,Kwangmin Park,HanMei Choi,Sejun Park,Hyunsang Hwang
标识
DOI:10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.11577362
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