发布文献求助

Influence of TaN films deposited using different N2 flow rates on the properties of Ta and Cu films in advanced 3D NAND memory

材料科学 X射线光电子能谱 电子背散射衍射 透射电子显微镜 分析化学（期刊） 衍射 扫描电子显微镜 堆积 电阻率和电导率 电子衍射 结晶学 复合材料 微观结构 纳米技术 核磁共振 光学 化学 电气工程 物理 工程类 色谱法
作者
Xianglie Sun,Shuliang Lv,Yuan Li,Chi Huang,Haodong Ma,Jun Luo
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2020-04-14 卷期号：115: 105120-105120 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2020.105120
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
贪玩的网络完成签到 ，获得积分10
刚刚
贪玩的醉柳完成签到，获得积分10
1秒前
3秒前
丰富的白开水完成签到，获得积分10
3秒前
pattonina完成签到 ，获得积分10
3秒前
千陽完成签到 ，获得积分10
4秒前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
orchid完成签到，获得积分10
6秒前
刘菠萝完成签到 ，获得积分10
6秒前
zyw完成签到 ，获得积分10
6秒前
Ai_niyou完成签到，获得积分10
10秒前
任性的一斩完成签到，获得积分10
11秒前
大方忆秋完成签到 ，获得积分10
12秒前
嘟嘟完成签到 ，获得积分10
16秒前
火星上芹菜完成签到，获得积分10
16秒前
17秒前
liupangzi完成签到，获得积分10
20秒前
hainuo401发布了新的文献求助10
20秒前
moyeon完成签到，获得积分10
21秒前
lili完成签到，获得积分10
22秒前
犹豫的若完成签到，获得积分10
24秒前
易槐完成签到 ，获得积分10
25秒前
锅架了完成签到 ，获得积分10
27秒前
Sandy完成签到 ，获得积分10
27秒前
Diego完成签到，获得积分10
27秒前
hainuo401完成签到，获得积分10
28秒前
cndxh完成签到，获得积分10
29秒前
尊敬寒松完成签到 ，获得积分10
30秒前
lily完成签到，获得积分10
31秒前
龄仔仔完成签到 ，获得积分10
33秒前
希音完成签到 ，获得积分10
34秒前
科目三的应助被火星上芹菜采纳，获得10
34秒前
桔梗完成签到 ，获得积分10
35秒前
比卜不完成签到，获得积分10
35秒前
老驴拉磨完成签到 ，获得积分10
38秒前
41秒前
幽默的迎天完成签到，获得积分10
42秒前
飞羽完成签到 ，获得积分10
43秒前
misa完成签到 ，获得积分10
47秒前
学术小白完成签到 ，获得积分10
50秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 临床微生物学程序手册，多卷，第5版 2000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1621
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] | NHBS Field Guides & Natural History 1500
The Victim–Offender Overlap During the Global Pandemic: A Comparative Study Across Western and Non-Western Countries 1000
King Tyrant 720
T/CIET 1631—2025《构网型柔性直流输电技术应用指南》 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5590684
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4676645
关于积分的说明 14795589
捐赠科研通 4635135
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2532912
邀请新用户注册赠送积分活动 1501375
关于科研通互助平台的介绍 1468806
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通