蚀刻(微加工)
材料科学
纳米技术
微电子机械系统
反应离子刻蚀
制作
各向同性腐蚀
硅
干法蚀刻
微电子
抛光
图层(电子)
光电子学
冶金
医学
替代医学
病理
作者
Gianluca Longoni,Davide Assanelli,Cinzia De Marco
出处
期刊:Springer eBooks
[Springer Nature]
日期:2022-01-01
卷期号:: 259-292
被引量:3
标识
DOI:10.1007/978-3-030-80135-9_9
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