High-resistivity with PN interface passivation in 22 nm FD-SOI technology for low-loss passives at RF and millimeter-wave frequencies

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作者
Lucas Nyssens,Martin Rack,Massinissa Nabet,C. Schwan,Zhixing Zhao,Steffen Lehmann,T. Herrmann,D. Henke,A. Kondrat,C. Soonekindt,Frieder Koch,T. Kache,D. P. Kini,O. Zimmerhackl,F. Allibert,C. Aulnette,Dimitri Lederer,Jean‐Pierre Raskin
出处
期刊:Solid-state Electronics [Elsevier]
卷期号:205: 108656-108656 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.sse.2023.108656
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