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High-resistivity with PN interface passivation in 22 nm FD-SOI technology for low-loss passives at RF and millimeter-wave frequencies
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T. Kache,
D. P. Kini,
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F. Allibert,
C. Aulnette,
Dimitri Lederer,
Jean‐Pierre Raskin
出处
期刊：
Solid-state Electronics
[Elsevier BV]
日期：2023-04-22
卷期号：205: 108656-108656
被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.sse.2023.108656
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