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Advancing the photoelectric performance of tube PECVD-based tunnel oxide passivating contact silicon solar cells by regulating the activated phosphorus concentration in polysilicon

硅 等离子体增强化学气相沉积 光电效应 材料科学 管（容器） 磷 氧化物 光电子学 复合材料 冶金
作者
Feng Han,Mingdun Liao,Na Lin,Shuo Deng,Ning Song,Weichuang Yang,Zunke Liu,Sheshicheng Chen,Haojiang Du,Wei Liu,Fuping Zhao,Wen Zhang,Yong Cai,Zhenhai Yang,Yuheng Zeng,Jichun Ye
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier]
日期：2025-05-09 卷期号：290: 113696-113696
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2025.113696
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