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CH4/(Ar–H2) plasma post-treatments produce nano-diamond aggregation and improvement in field emission properties of ultrananocrystalline diamond films

钻石 化学气相沉积 场电子发射 材料科学 石墨 金刚石材料性能 纳米技术 等离子体 化学工程 堆积 相(物质) 结块 碳膜 复合材料 化学 电子 薄膜 有机化学 物理 工程类 量子力学
作者
Chengke Chen,Yizhong Zhang,Chien-Ray Yeh,Meiyan Jiang,Xiao Li,Shaohua Lu,I‐Nan Lin,Xiaojun Hu
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
卷期号:130 (1) 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s00339-023-07193-w
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