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Structural and compositional complexity of nitrogen implantation in silicon carbide
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作者
Alexandra Suvorova,
Sergey Rubanov,
А. В. Суворов
出处
期刊:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期:2011-02-03
卷期号:272: 462-465
被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2011.01.124
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