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Improving beam current and performance in boron ion implantation via Boron Trifluoride (BF3) and Diboron Tetrafluoride (B2F4) mixture
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作者
Ying Tang,
Chee Weng Leong,
Renchun Yang,
Jung-Chou Hung,
Paul J. Wang,
Jimmy Wu,
Jeng Shiow‐Yau Chao,
Joseph Despres,
Matt Marlow,
Joseph Sweeney
出处
期刊：
MRS Advances
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-02-26
标识
DOI：10.1557/s43580-025-01214-x
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