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Improving beam current and performance in boron ion implantation via Boron Trifluoride (BF3) and Diboron Tetrafluoride (B2F4) mixture

材料科学 三氟化硼 硼 电流（流体） 无机化学 离子 有机化学 催化作用 化学 电气工程 工程类
作者
Ying Tang,Chee Weng Leong,Renchun Yang,Jung-Chou Hung,Paul J. Wang,Jimmy Wu,Jeng Shiow‐Yau Chao,Joseph Despres,Matt Marlow,Joseph Sweeney
出处
期刊：MRS Advances [Springer Science+Business Media]
日期：2025-02-26
标识
DOI：10.1557/s43580-025-01214-x
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