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Radiation chemistry of a novel zinc–oxo cluster crosslinking strategy for EUV patterning
极紫外光刻
物理
光学
作者
Youming Si,
Danhong Zhou,
Jun Zhao,
Yifeng Peng,
Pengzhong Chen,
Jiangli Fan,
Xiaojun Peng
出处
期刊:
Science China. Materials
[Springer Science+Business Media]
日期:2024-04-08
卷期号:67 (5): 1588-1593
被引量:8
标识
DOI:10.1007/s40843-023-2827-8
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