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Radiation chemistry of a novel zinc–oxo cluster crosslinking strategy for EUV patterning

极紫外光刻 物理 光学
作者
Youming Si,Danhong Zhou,Jun Zhao,Yifeng Peng,Pengzhong Chen,Jiangli Fan,Xiaojun Peng
出处
期刊：Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2024-04-08 卷期号：67 (5): 1588-1593 被引量：8
标识
DOI：10.1007/s40843-023-2827-8
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