用于EUV图案化的新型氧化锌簇交联策略的辐射化学

极紫外光刻 物理 光学
作者
Youming Si,Danhong Zhou,Jun Zhao,Yifeng Peng,Pengzhong Chen,Jiangli Fan,Xiaojun Peng
出处
期刊:Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:67 (5): 1588-1593 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s40843-023-2827-8

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