有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究

摘要 常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.性能良好的薄膜电阻率为6.5×10-3Ω·cm,载流子浓度为1.2×1020cm-3,霍耳迁移率是9.7cm2·V-1·s-1.薄膜在可见光区的平均透过率达到了85%. 关键词: 柔性衬底 / SnO2:Sb透明导电膜 / 射频磁控溅射法 Abstract Keywords: / / 作者及机构信息 郝晓涛2, 马瑾2, 徐现刚1, 杨莺歌2, 张德恒2, 杨田林3, 马洪磊2 (1)山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100; (2)山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所,济南250100; (3)淄博学院数理系,淄博255000 基金项目: 高等学校骨干教师资助计划资助的课题 Authors and contacts (1)山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100; (2)山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所,济南250100; (3)淄博学院数理系,淄博255000 参考文献 施引文献