Nano Hotplate Fabrication for Metal Oxide-Based Gas Sensors by Combining Electron Beam and Focused Ion Beam Lithography

已完结

文献求助详情

标题	Nano Hotplate Fabrication for Metal Oxide-Based Gas Sensors by Combining Electron Beam and Focused Ion Beam Lithography 相关领域材料科学聚焦离子束小型化电子束光刻扫描电子显微镜光电子学电极离子束二次离子质谱法分析化学（期刊）纳米技术离子抵抗化学复合材料物理化学有机化学色谱法图层（电子）
网址	https://www.mdpi.com/2072-666X/14/11/2060/pdf?version=169908...
DOI	10.3390/mi14112060 doi
其它	期刊：Micromachines 作者：Zhifu Feng; D. Giubertoni; Alessandro Cian; Matteo Valt; Mario Barozzi; et al 出版日期：2023-11-04
求助人	柏不斜在 2026-05-31 23:17:34 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 可爱的函函上传了应助文件

刚刚; 浩浩完成签到，获得积分10

刚刚; 科研狗敏敏完成签到，获得积分10

1秒前; 马少洋发布了新的文献求助10

1秒前; Arimson发布了新的文献求助10

1秒前; 充电宝的应助被风止采纳，获得10

1秒前; 思源上传了应助文件

1秒前; Friday关闭了Friday的文献求助

1秒前; 123321aa完成签到，获得积分20

2秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

2秒前; 田様上传了应助文件

2秒前; orixero上传了应助文件

2秒前; SciGPT的应助被spark采纳，获得10

2秒前; sz114完成签到，获得积分10

3秒前; F衣衫褴褛完成签到，获得积分10

3秒前; 李健的小迷弟的应助被结实的南晴采纳，获得10

3秒前; YYY关闭了YYY的文献求助

3秒前; 碎觉觉上传了应助文件

3秒前; 追寻的亦凝发布了新的文献求助10

4秒前; 无花果的应助被ss采纳，获得10

4秒前; 123321aa发布了新的文献求助10

4秒前; sci完成签到，获得积分10

4秒前; 糊涂的小鸭子发布了新的文献求助10

5秒前; 伍小兽发布了新的文献求助10

5秒前; 天天的应助被敏家采纳，获得10

5秒前; yellow发布了新的文献求助10

6秒前; 斯文翠完成签到，获得积分10

6秒前; 深情安青的应助被VK2801采纳，获得10

6秒前; 马少洋完成签到，获得积分10

6秒前; 彭同学完成签到，获得积分10

6秒前; Jasper的应助被zzhen采纳，获得30

6秒前; 辣椒油完成签到，获得积分10

7秒前; zchchem发布了新的文献求助30

7秒前; iitj完成签到，获得积分10

7秒前; Robin发布了新的文献求助10

7秒前; 斯派克发布了新的文献求助10

7秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

8秒前; 隐形曼青上传了应助文件

8秒前; lalala上传了应助文件

9秒前; 桐桐上传了应助文件

9秒前