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 Impact of hydrogen coverage on silane adsorption during Si epitaxy from ab initio simulations 从头算模拟研究硅外延过程中氢覆盖对硅烷吸附的影响
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期刊：Solid-State Electronics 作者：Laureline Treps; Jing Li; B. Sklénard 出版日期：2022-08-30 |
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