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标题
Impact of hydrogen coverage on silane adsorption during Si epitaxy from ab initio simulations
从头算模拟研究硅外延过程中氢覆盖对硅烷吸附的影响
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硅烷 吸附 外延 解吸 化学气相沉积 材料科学 密度泛函理论 硅烷 从头算 沉积（地质） 化学物理 氢 活化能 计算化学 物理化学 化学工程 纳米技术 化学 有机化学 复合材料 图层（电子） 古生物学 工程类 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.sse.2022.108441
AI链接 sciencedirect.com cea.hal.science cea.hal.sciencedoi.org
DOI
10.1016/j.sse.2022.108441 doi
其它 期刊：Solid-State Electronics
作者：Laureline Treps; Jing Li; B. Sklénard
出版日期：2022-08-30
求助人
luo 在 2025-08-28 16:04:01 发布，悬赏 10 积分
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