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Surface Roughness of LPCVD Polysilicon and Its Influence on Overlying Electroless Plated Nickel
LPCVD多晶硅表面粗糙度及其对覆盖化学镀镍的影响
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材料科学 表面粗糙度 多晶硅耗尽效应 电镀(地质) 表面光洁度 冶金 复合材料 化学气相沉积 表面微加工 光电子学 制作 电气工程 病理 栅氧化层 电压 晶体管 工程类 地质学 替代医学 医学 地球物理学
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DOI
10.1149/1.1838052 doi
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爱笑三颜 在 2025-12-14 08:41:12 发布自中国,悬赏 10 积分
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