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标题
Surface Roughness of LPCVD Polysilicon and Its Influence on Overlying Electroless Plated Nickel
LPCVD多晶硅表面粗糙度及其对覆盖化学镀镍的影响
相关领域
材料科学 表面粗糙度 多晶硅耗尽效应 电镀(地质) 表面光洁度 冶金 复合材料 化学气相沉积 表面微加工 光电子学 制作 电气工程 医学 替代医学 晶体管 病理 电压 地球物理学 地质学 工程类 栅氧化层
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DOI
10.1149/1.1838052 doi
求助人
爱笑三颜 在 2025-12-14 08:41:12 发布自中国,悬赏 10 积分
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