Effect of HCl on the SiGe growth kinetics in reduced pressure—chemical vapor deposition

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标题	Effect of HCl on the SiGe growth kinetics in reduced pressure—chemical vapor deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1016/s0022-0248(02)01283-6
DOI	10.1016/s0022-0248(02)01283-6 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：J.M. Hartmann; F. Champay; V. Loup; G. Rolland; M.N. Séméria 出版日期：2002-05-01
求助人	阿nice 在 2026-07-09 11:05:55 发布自安徽，悬赏 10 积分
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