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标题
Ultra-low CTE-mismatch of 3C-SiC-on-Si thin films for high temperature MEMS applications
用于高温微机电系统应用的3C-Sic-on-Si薄膜的超低CTE不匹配
相关领域
微电子机械系统 材料科学 薄膜 光电子学 复合材料 工程物理 电子工程 纳米技术 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2025.116262
DOI
10.1016/j.sna.2025.116262 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Philipp Moll; Georg Pfusterschmied; Barbara Schmid; Sabine Schwarz; Werner Artner; et al
出版日期：2025-02-01
求助人
个性的篮球 在 2025-07-13 20:12:49 发布自广东，悬赏 10 积分
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