| 标题 |
 Synergistic mechanism of multi-energy fields: achieving atomic-scale smooth GaN surfaces via ultrasonic vibration-assisted electrochemical mechanical polishing 相关领域
材料科学
抛光
薄脆饼
超声波传感器
表面粗糙度
氮化镓
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电化学
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光电子学
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图层（电子）
多孔性
纳米-
机械化学
宽禁带半导体
纳米技术
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| DOI |
10.1016/j.ceramint.2025.09.199
doi
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| 其它 |
期刊：Ceramics International 作者：Haojie Guo; Zirui Wang; Chao Peng; Tianyu Zhang; Shengjie You; et al 出版日期：2025-09-13 |
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(2025-6-4)
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