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 Electron dynamics in radio frequency magnetron sputtering argon discharges with a dielectric target 相关领域
电子
原子物理学
等离子体
吸收（声学）
碰撞频率
氩
化学
材料科学
物理
量子力学
复合材料
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| 其它 |
期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Bocong Zheng; Yangyang Fu; Keliang Wang; Thomas Schuelke; Qi Hua Fan 出版日期：2021-03-01 |
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