Reduction of systematic defects through machine learning from design to fab

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标题	Reduction of systematic defects through machine learning from design to fab 相关领域可制造性设计计算机科学限制机器学习光学接近校正抵抗还原（数学）人工智能过程（计算）平版印刷术可靠性工程工程类纳米技术材料科学操作系统图层（电子）几何学机械工程光电子学数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2551703
DOI	10.1117/12.2551703 doi
其它	期刊：作者：Yuansheng Ma; Le Hong; James Word; Fan Jiang; Vlad Liubich; et al 出版日期：2020-03-23
求助人	拼搏夜白在 2025-10-25 20:01:45 发布自河南，悬赏 20 积分
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