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 Mechanistic insights into low-temperature epitaxial growth of aluminum nitride films on layered transition metal dichalcogenides 层状过渡金属二硫族化物上氮化铝薄膜低温外延生长的机理研究
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Tung Chen Hsieh; Yu Ming Liao; Wei-Fan Hsu; Hui-Ling Kao; Yu-Che Huang; et al 出版日期：2022-11-07 |
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