Exploring the nonlinear piezoresistive effect of 4H-SiC and developing MEMS pressure sensors for extreme environments

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标题	Exploring the nonlinear piezoresistive effect of 4H-SiC and developing MEMS pressure sensors for extreme environments
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-023-00496-1.pdf
DOI	10.1038/s41378-023-00496-1 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Chen Wu; Xudong Fang; Qiang Kang; Ziyan Fang; Junxia Wu; et al 出版日期：2023-04-03
求助人	翻斗花园胡图图在 2026-02-28 11:01:08 发布自安徽，悬赏 10 积分
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