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 Analysis and Visualization of Temperature Field for Wafer Batch in Furnace 炉内晶圆配料温度场的分析与可视化
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期刊：Journal of the Korean Society of Visualization 作者：Seung-Hwan Kang; Seung Ho Lee; Byeong Hoon Kim; Han Seo Ko 出版日期：2015-12-31 |
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