发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
High Precision Direct Transfer Bonding for Submicron Die-to-Wafer in 3D/Heterogeneous Integration
3D/异质集成中亚微米管芯到晶片的高精度直接转移键合
相关领域
晶片键合 薄脆饼 模具（集成电路） 直接结合 材料科学 晶圆规模集成 纳米技术 计算机科学 光电子学
网址
http://dx.doi.org/10.1109/ESTC60143.2024.10712144
DOI
10.1109/ESTC60143.2024.10712144 doi
求助人
mhpvv 在 2025-12-30 14:27:31 发布自北京，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low temperature direct wafer to wafer bonding for 3D integration: Direct bonding, surface preparatio...
  2. Process Induced Wafer Warpage Optimization for Multi-chip Integration on Wafer Level Molded Wafer
  3. Applications of the silicon wafer direct-bonding technique to electron devices
  4. Preparation of Germanium-on-insulator (GOI) wafers by means of layer transfer tehnique
  5. Research on Multilayer Direct Bonding Technology for Silicon Wafer
  6. A 3-D wafer level hermetical packaging for MEMS
  7. Integration of distributed Ge islands onto Si wafers by adhesive wafer bonding and low-temperature G...
  8. Low Temperature Wafer Bonding On SiliconNitride
  9. A Low Temperature, Wafer Level Transfer Integration Technology
  10. The Behavior of Intrinsic Bubbles in Silicon Wafer Direct Bonding
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
学术共进，科研互通
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
浮游的应助被lzy采纳，获得10
1秒前
领导范儿的应助被cc采纳，获得10
1秒前
1秒前
2秒前
Berry完成签到，获得积分10
2秒前
没有昵称发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
天真玲发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
Trayana发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
27发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
肉鸡的应助被花成花采纳，获得10
4秒前
4秒前
打打的应助被那家伙真懒采纳，获得10
4秒前
墨雨斋发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
xiaolu完成签到，获得积分10
5秒前
星星发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
Echo发布了新的文献求助10
6秒前
姜小猪发布了新的文献求助20
6秒前
7秒前
7秒前
zzzwt完成签到，获得积分10
7秒前
Nicole完成签到，获得积分10
7秒前
laojian完成签到 ，获得积分10
7秒前
果粒程发布了新的文献求助10
7秒前
动听千山发布了新的文献求助10
7秒前
灵巧的yu发布了新的文献求助10
7秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
9秒前
赛特新思完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
无敌的兔子宇宙完成签到，获得积分10
10秒前
Lucas的应助被玛卡采纳，获得10
10秒前
10秒前
香蕉诗蕊的应助被良人采纳，获得10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1601
以液相層析串聯質譜法分析糖漿產品中活性雙羰基化合物 / 吳瑋元[撰] = Analysis of reactive dicarbonyl species in syrup products by LC-MS/MS / Wei-Yuan Wu 1000
Lloyd's Register of Shipping's Approach to the Control of Incidents of Brittle Fracture in Ship Structures 800
Biology of the Reptilia. Volume 21. Morphology I. The Skull and Appendicular Locomotor Apparatus of Lepidosauria 600
The Composition and Relative Chronology of Dynasties 16 and 17 in Egypt 500
Pediatric Nutrition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5552270
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4637012
关于积分的说明 14647248
捐赠科研通 4578939
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2511174
邀请新用户注册赠送积分活动 1486363
关于科研通互助平台的介绍 1457547
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通