Impact of molecular structure of polymer in 193 nm resist performance

已完结

文献求助详情

标题	Impact of molecular structure of polymer in 193 nm resist performance 相关领域抵抗聚合物平版印刷术微电子材料科学小型化光刻胶临界尺寸纳米技术溶解化学复合材料光学光电子学有机化学物理图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2008.11.072
DOI	10.1016/j.mee.2008.11.072 doi
求助人	哈哈哈在 2026-06-02 10:49:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 包容的忆灵完成签到，获得积分10

2秒前; 每日洋洋完成签到，获得积分10

2秒前; zmrright发布了新的文献求助160

3秒前; sauce完成签到，获得积分10

4秒前; mo完成签到，获得积分10

9秒前; PHI完成签到，获得积分10

11秒前; 搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10

11秒前; rum的应助被科研通管家采纳，获得10

12秒前; Aisileyi完成签到，获得积分10

14秒前; 山复尔尔完成签到，获得积分10

15秒前; 小果完成签到，获得积分10

16秒前; 小强完成签到，获得积分10

22秒前; 欧斯奥特曼完成签到，获得积分10

23秒前; 依霏完成签到，获得积分10

25秒前; 竹林听风完成签到，获得积分20

26秒前; 秋风上传了应助文件

27秒前; bi完成签到，获得积分10

27秒前; 橘子完成签到，获得积分10

29秒前; songmt1988完成签到，获得积分10

31秒前; sword完成签到，获得积分10

37秒前; 游艺完成签到，获得积分10

46秒前; Super完成签到，获得积分10

47秒前; 温茹完成签到，获得积分10

47秒前; 顺利的雅旋完成签到，获得积分10

48秒前; Mississippiecho完成签到，获得积分0

53秒前; 荔枝铎完成签到，获得积分10

54秒前; 迷路的代曼完成签到，获得积分10

55秒前; cdercder的应助被Kondo采纳，获得10

56秒前; 王kk完成签到，获得积分10

1分钟前; max11完成签到，获得积分10

1分钟前; coffee完成签到，获得积分10

1分钟前; 诗酒梦芳华完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通管家关闭了zmrright的文献求助

1分钟前; wuhu完成签到，获得积分10

1分钟前; zmrright发布了新的文献求助10

1分钟前; 大叉烧完成签到，获得积分10

1分钟前; 木雨亦潇潇完成签到，获得积分0

1分钟前; bkagyin上传了应助文件

1分钟前; WW完成签到，获得积分10

1分钟前; lixiang发布了新的文献求助10

1分钟前