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Annealing Activation Effect of Pt Electrodes on SAW Devices with Langasite Substrate and the Mechanism Analysis 相关领域
材料科学
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活化能
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期刊:2026 10th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM) 作者:Runli Liu; Yang Li; Xudong Cai; Zhen Li; Jun Fu; et al 出版日期:2026-05-07 |
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