A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator

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标题	A review: aluminum nitride MEMS contour-mode resonator
网址	http://stacks.iop.org/1674-4926/37/i=10/a=101001/pdf
DOI	10.1088/1674-4926/37/10/101001 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Y. Hou 侯; M. Zhang 张; G. Han 韩; Chaowei 朝伟 Si 司; Y. Zhao 赵; et al 出版日期：2016-01-01
求助人	天才小耶在 2026-07-31 21:12:28 发布自山西，悬赏 10 积分
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