Pulsed N2 plasma surface treatment for AlGaN/GaN HEMTs prior to PECVD SiNx passivation to reduce plasma damage

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标题	Pulsed N2 plasma surface treatment for AlGaN/GaN HEMTs prior to PECVD SiNx passivation to reduce plasma damage
网址	https://doi.org/10.1063/5.0235740
DOI	10.1063/5.0235740 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Kaiyu Wang; Wei Ke; Ruizhe Zhang; Sheng Zhang; Jiaqi Guo; et al 出版日期：2024-11-18
求助人	温柔的沛蓝在 2026-09-10 18:04:22 发布自江苏，悬赏 10 积分
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