Polymer residue chemical composition analysis and its effect on via contact resistance in dual damascene copper interconnects process integration

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标题	Polymer residue chemical composition analysis and its effect on via contact resistance in dual damascene copper interconnects process integration
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002626920...
DOI	10.1016/s0026-2692(02)00154-4 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Y.-S. Zheng; Q. Guo; Y. Su; P. Foo 出版日期：2003-02-01
求助人	翟不评在 2026-09-16 16:38:55 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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