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Effect of La Spatial Uniformity on Ferroelectric Properties of HfO2 Films Deposited by Atomic Layer Deposition Method
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网址
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdfdirect/10.1002/pssa.2...
AI链接 wiley.comdoi.org
DOI
10.1002/pssa.202300674 doi
其它 期刊：physica status solidi (a)
作者：Juyoung Jeong; Yoogeun Han; Jaeyoung Joo; Hyunchul Sohn
出版日期：2024-04-01
求助人
Jie 在 2026-08-24 09:03:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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