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Preparation and processing properties of magnetically controlled abrasive solidification orientation—solid-phase Fenton reaction lapping-polishing plate for single-crystal 4H-SiC
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磨料 研磨 材料科学 抛光 化学机械平面化 相（物质） 微观结构 Crystal（编程语言） 复合材料 表面粗糙度 表面光洁度 冶金 化学 有机化学 计算机科学 程序设计语言
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S246802302...
DOI
10.1016/j.surfin.2021.101646 doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Jiayun Deng; Jiabin Lu; Shuai Zeng; Qiang Xiong; Qiusheng Yan; et al
出版日期：2021-12-26
求助人
lxy2002 在 2026-09-27 09:06:51 发布自吉林，悬赏 10 积分
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