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Structural, Optical and Phonon properties of hafnium oxynitride thin films synthesized using plasma-enhanced atomic layer deposition
等离子体增强原子层沉积法制备氮氧铪薄膜的结构、光学和声子性质
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Ayush Pratik; Robert Patterson; Gavin Conibeer; Santosh Shrestha 出版日期:2024-02-01 |
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