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标题
IMPHEAT-II, a novel high temperature ion implanter for mass production of SiC power devices
相关领域
材料科学 吞吐量 薄脆饼 离子注入 光电子学 工程物理 功率（物理） 可靠性（半导体） 离子束 电气工程 计算机科学 离子 梁（结构） 工程类 电信 无线 土木工程 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1557/s43580-022-00428-7
DOI
10.1557/s43580-022-00428-7 doi
其它 期刊：MRS Advances
作者：Yusuke Kuwata; Shiro Shiojiri; Akihito Nakanishi; Shinsuke Inoue; Masakazu Adachi; et al
出版日期：2022-12-16
求助人
余生 在 2025-10-30 16:45:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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