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  Selective laser-induced etching of 3D precision quartz glass components for microfluidic applications-up-scaling of complexity and speed 用于微流体应用的3D精密石英玻璃部件的选择性激光诱导蚀刻——复杂性和速度的放大
相关领域
蚀刻（微加工）
激光器
材料科学
各向同性腐蚀
缩放比例
光电子学
过程（计算）
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光学
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