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 Heaterless large-area coaxial hollow cathode arc discharge with programmable plasma beam scanning for uniform and scalable thin-film deposition 具有可编程等离子体束扫描的无加热器大面积同轴空心阴极电弧放电用于均匀和可扩展的薄膜沉积
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材料科学
阴极
同轴
沉积（地质）
等离子体
光电子学
弧（几何）
梁（结构）
电弧
电极
扫描电子显微镜
复合材料
阴极电弧沉积
可扩展性
阳极
真空沉积
等离子弧焊接
光学
薄膜
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期刊：Applied Surface Science 作者：Sheng Fu Zhao; Ying Li; Zhi-Qiang Li; Chong Wei Tan; Jian Xiong Wang; et al 出版日期：2025-11-23 |
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