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标题
Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals
碳氢化合物和氨基自由基等离子体增强化学气相沉积中胺形成的分子动力学模拟
相关领域
胺气处理 激进的 等离子体增强化学气相沉积 化学 氮气 聚合 化学气相沉积 离子 小学(天文学) 聚合物 沉积(地质) 光化学 无机化学 等离子体聚合 有机化学 天文 生物 物理 沉积物 古生物学
网址
DOI
10.1116/6.0002978 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者:Anjar Anggraini Harumningtyas; Tomoko Ito; Michiro Isobe; Lenka Zajı́čková; Satoshi Hamaguchi
出版日期:2023-10-06
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畅快尔烟 在 2025-12-30 18:47:32 发布自上海,悬赏 10 积分
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