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 Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals 碳氢化合物和氨基自由基等离子体增强化学气相沉积中胺形成的分子动力学模拟
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Anjar Anggraini Harumningtyas; Tomoko Ito; Michiro Isobe; Lenka Zajı́čková; Satoshi Hamaguchi 出版日期：2023-10-06 |
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