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标题
Direct thermal atomic layer deposition of high-κ dielectrics on monolayer MoS2: nucleation and growth
单层MoS2上高κ电介质的直接热原子层沉积:成核与生长
相关领域
成核 单层 图层(电子) 材料科学 原子层沉积 电介质 沉积(地质) 热的 高-κ电介质 纳米技术 化学工程 化学物理 工程物理 光电子学 化学 热力学 物理 有机化学 地质学 工程类 古生物学 沉积物
网址
DOI
10.1039/d5nr01144b doi
其它 期刊:Nanoscale
作者:Brendan F. M. Healy; Sophie L. Pain; Nicholas E. Grant; John D. Murphy
出版日期:2025-06-12
求助人
LiuHao 在 2025-12-03 21:51:45 发布自河南,悬赏 10 积分
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  • 7个月前

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