Exploring the mechanism of gallium nitride surface quality enhancement by green organic additives in chemical mechanical polishing - 科研通

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标题	Exploring the mechanism of gallium nitride surface quality enhancement by green organic additives in chemical mechanical polishing
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.160646 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Wenhao Xian; Baoguo Zhang; Min Liu; Dexing Cui; Shitong Liu 出版日期：2024-07-04
求助人	李相赫在 2026-11-07 16:46:17 发布自广东，悬赏 10 积分
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