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 Breaking the 100 µm Barrier: Sub‐10 µm 3D Microfluidic Channels via Low‐Cost Maskless Photolithography 相关领域
微流控
光刻
材料科学
制作
纳米技术
数字微镜装置
光致聚合物
微加工
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光电子学
基质（水族馆）
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光刻胶
蚀刻（微加工）
无光罩微影
数字光处理
各向同性腐蚀
流动聚焦
限制
墨水池
纸卷
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期刊：Small 作者：Xinghao Chen; Xinjian Xie; Guangrui Ju; Wencai Liu; Zhiyin Wang; et al 出版日期：2025-09-24 |
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(2025-6-4)
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