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标题
Dependence of optoelectronic properties of IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering on initial vacuum pressure
射频磁控溅射IGZO薄膜的光电特性与初始真空压力的关系
相关领域
材料科学 光电子学 溅射沉积 薄膜 溅射 燃烧室压力 高压 超高真空 制作 高功率脉冲磁控溅射 无线电频率 腔磁控管 气体压力 真空沉积
网址
http://dx.doi.org/10.1007/s10854-025-15780-1
DOI
10.1007/s10854-025-15780-1 doi
求助人
令狐姝 在 2025-12-31 18:30:17 发布自新疆，悬赏 10 积分
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