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 Dependence of optoelectronic properties of IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering on initial vacuum pressure 射频磁控溅射IGZO薄膜的光电特性与初始真空压力的关系
相关领域
材料科学
光电子学
溅射沉积
薄膜
溅射
燃烧室压力
高压
超高真空
制作
高功率脉冲磁控溅射
无线电频率
腔磁控管
气体压力
真空沉积
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(2025-6-4)
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