Dependence of optoelectronic properties of IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering on initial vacuum pressure

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标题	Dependence of optoelectronic properties of IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering on initial vacuum pressure 射频磁控溅射IGZO薄膜的光电特性与初始真空压力的关系相关领域材料科学光电子学溅射沉积薄膜溅射燃烧室压力高压超高真空制作高功率脉冲磁控溅射无线电频率腔磁控管气体压力真空沉积
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s10854-025-15780-1
DOI	10.1007/s10854-025-15780-1 doi
求助人	令狐姝在 2025-12-31 18:30:17 发布自新疆，悬赏 10 积分
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