Dependence of optoelectronic properties of IGZO thin films deposited by RF magnetron sputtering on initial vacuum pressure

材料科学 光电子学 溅射沉积 薄膜 溅射 燃烧室压力 高压 超高真空 制作 高功率脉冲磁控溅射 无线电频率 腔磁控管 气体压力 真空沉积
作者
Shuai Yuan,Wei Zhang,Shumin Yang,Shuai Yuan,Wei Zhang,Shumin Yang
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:36 (27)
标识
DOI:10.1007/s10854-025-15780-1
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