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标题
Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazane
四甲基二硅氮烷ICP-CVD SiCxNy：H薄膜的合成、性能及老化
相关领域
材料科学 傅里叶变换红外光谱 分析化学（期刊） 化学气相沉积 薄膜 基质（水族馆） 润湿 等离子体增强化学气相沉积 无定形固体 沉积（地质） 硅 化学工程 化学 纳米技术 复合材料 冶金 有机化学 海洋学 工程类 生物 地质学 沉积物 古生物学
网址
https://www.mdpi.com/2079-6412/12/1/80/pdf?version=164241166...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/coatings12010080 doi
其它 期刊：Coatings
作者：M. N. Chagin; V. S. Sulyaeva; Vladimir R. Shayapov; Aleksey N. Kolodin; M. N. Khomyakov; et al
出版日期：2022-01-11
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danli 在 2025-11-12 00:16:16 发布自海南，悬赏 20 积分
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