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 $\hbox{ZrLaO}_{x}\hbox{/ZrTiO}_{x}\hbox{/ZrLaO}_{x}$ Laminate as Insulator for MIM Capacitors With High Capacitance Density and Low Quadratic Voltage Coefficient Using Canceling Effect $\hbox{ZrLaO}_{x}\hbox{/ZrTiO}_{x}\hbox{/ZrLaO}_{x}$使用抵消效应作为具有高电容密度和低二次电压系数的MIM电容器的绝缘体的层压板
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Lun Lun Chen; Yung‐Hsien Wu; Yubo Lin; Chia-Chun Lin; Min-Lin Wu 出版日期：2012-08-28 |
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