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标题
The Effects of RF Power and Cavity Structure on the Plasma Discharge Characteristics of RPS
相关领域
等离子体 材料科学 涂层 温度电子 电子密度 电子 扩散 等离子体参数 射频功率放大器 原子物理学 无线电频率 空腔壁 光电子学 复合材料 电气工程 热力学 物理 放大器 量子力学 CMOS芯片 工程类
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10361573/10361609/103617...
DOI
10.1109/icedcs60513.2023.00067 doi
其它 期刊：2023 International Conference on Electronics and Devices, Computational Science (ICEDCS)
作者：Hai Lin; Wei Su; Ming Chen; Renhuai Liu
出版日期：2023-12-23
求助人
Plasma992575 在 2026-08-06 08:53:39 发布自山东，悬赏 10 积分
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