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Nucleation and Growth of Atomic Layer Deposition: Effect of Substrate and Precursor Chemistry
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DOI
10.7936/k7ww7h3g doi
其它 期刊:Washington University in St. Louis
作者:Zhengning Gao
出版日期:2018-01-01
求助人
九思 在 2026-07-31 09:51:15 发布自江苏,悬赏 10 积分
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