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标题
Enhancing the optical and electrical properties of AlGaN ultraviolet-C micro-LED via a hybrid scheme of plasma and chemical treatment
通过等离子体和化学处理的混合方案增强AlGaN紫外-C微型LED的光电性能
相关领域
发光二极管 光电子学 材料科学 四甲基氢氧化铵 紫外线 蚀刻(微加工) 等离子体 感应耦合等离子体 宽禁带半导体 二极管 结温 纳米技术 功率(物理) 物理 图层(电子) 量子力学
网址
DOI
10.1063/5.0123409 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Feng Feng; Yibo Liu; Ke Zhang; Mengyuan Zhanghu; Ka‐Wah Chan; et al
出版日期:2022-11-28
求助人
可爱弘文 在 2025-07-27 19:29:39 发布自天津,悬赏 10 积分
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