Enhancing the optical and electrical properties of AlGaN ultraviolet-C micro-LED via a hybrid scheme of plasma and chemical treatment

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标题	Enhancing the optical and electrical properties of AlGaN ultraviolet-C micro-LED via a hybrid scheme of plasma and chemical treatment 通过等离子体和化学处理的混合方案增强AlGaN紫外-C微型LED的光电性能相关领域发光二极管光电子学材料科学四甲基氢氧化铵紫外线蚀刻（微加工）等离子体感应耦合等离子体宽禁带半导体二极管结温纳米技术量子力学物理功率（物理）图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/5.0123409 AI链接 edu.hkdoi.org
DOI	10.1063/5.0123409 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Feng Feng; Yibo Liu; Ke Zhang; Mengyuan Zhanghu; Ka‐Wah Chan; et al 出版日期：2022-11-28
求助人	可爱弘文在 2025-07-27 19:29:39 发布自天津，悬赏 10 积分
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