Surface acoustic wave temperature sensor based on Pt/AlN/4 H-SiC structure for high-temperature environments

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标题	Surface acoustic wave temperature sensor based on Pt/AlN/4 H-SiC structure for high-temperature environments 相关领域多物理制作材料科学温度系数声表面波谐振器温度测量声学有限元法微电子机械系统光电子学复合材料物理热力学病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114379
DOI	10.1016/j.sna.2023.114379 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Zuodong Yang; Fang Wang; Weican Nie; Han Xu; Xiaowei Guo; et al 出版日期：2023-05-03
求助人	STP顶峰相见在 2026-01-16 10:03:26 发布自北京，悬赏 10 积分
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