Control of Epitaxial Growth of SiGe

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标题	Control of Epitaxial Growth of SiGe SiGe外延生长的控制相关领域薄脆饼沉积（地质）外延锗硅材料科学光电子学图层（电子）炸薯条硅锗电子工程纳米技术电气工程工程类生物古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2015.2480681
DOI	10.1109/tsm.2015.2480681 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：R. van Roijen; Michael Steigerwalt; Josh D. Bell; Eric C. Harley; Alyssa Herbert; et al 出版日期：2015-11-01
求助人	Kevin 在 2024-09-13 06:26:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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