Design of angle-resolved illumination optics using nonimaging bi-telecentricity for 193 nm scatterfield microscopy

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标题	Design of angle-resolved illumination optics using nonimaging bi-telecentricity for 193 nm scatterfield microscopy 相关领域光学失真（音乐）数值孔径光圈（计算机存储器）波前非成像光学物理镜头（地质）几何光学光轴计量学材料科学基点斯太尔率光电子学 CMOS芯片声学放大器波长
网址	https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2017.11.206
DOI	10.1016/j.ijleo.2017.11.206 doi
其它	期刊：Optik 作者：Martin Y. Sohn; Brian M. Barnes; Richard M. Silver 出版日期：2017-12-02
求助人	子暮在 2026-01-12 12:34:04 发布自福建，悬赏 10 积分
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