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Design of angle-resolved illumination optics using nonimaging bi-telecentricity for 193 nm scatterfield microscopy

光学失真（音乐）数值孔径光圈（计算机存储器）波前非成像光学物理镜头（地质）几何光学光轴计量学材料科学基点斯太尔率光电子学 CMOS芯片声学放大器波长

作者

Martin Y. Sohn,Brian M. Barnes,Richard M. Silver

出处

期刊：Optik [Elsevier BV]
日期：2017-12-02 卷期号：156: 635-645 被引量：10

链接

nih.gov europepmc.org nih.govdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.ijleo.2017.11.206

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