MOCVD growth of ZrN thin films on GaN/Si templates and the effect of substrate temperature on growth mode, stress state, and electrical properties - 科研通

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标题	MOCVD growth of ZrN thin films on GaN/Si templates and the effect of substrate temperature on growth mode, stress state, and electrical properties GaN/Si模板上ZrN薄膜的MOCVD生长及衬底温度对生长模式、应力状态和电学性能的影响相关领域材料科学金属有机气相外延欧姆接触化学气相沉积薄膜基质（水族馆）电阻率和电导率压力（语言学）复合材料图层（电子）光电子学纳米技术外延工程类地质学哲学电气工程海洋学语言学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac8205
DOI	10.1088/1361-6463/ac8205 doi
其它	期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Qingqing Chen; Shaoyan Yang; Chengming Li; Weizhen Yao; Xianglin Liu; et al 出版日期：2022-07-18
求助人	九命鼠鼠在 2025-12-04 18:17:01 发布自广西，悬赏 10 积分
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