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标题
3D to 2D perspectives - Traditional and new doping and metrology challenges at the nanoscale
3D到2D视角——纳米级的传统和新掺杂和计量挑战
相关领域
材料科学 纳米技术 兴奋剂 计量学 半导体 基质（水族馆） 工程物理 背景（考古学） 光电子学 硅 晶体管 电气工程 光学 物理 工程类 地质学 古生物学 电压 海洋学 生物
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107584
DOI
10.1016/j.mssp.2023.107584 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Маргарита Георгиева; Nikolay Petkov; Ray Duffy
出版日期：2023-05-15
求助人
Reni 在 2025-08-18 20:48:57 发布，悬赏 10 积分
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