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 3D to 2D perspectives - Traditional and new doping and metrology challenges at the nanoscale 3D到2D视角——纳米级的传统和新掺杂和计量挑战
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Маргарита Георгиева; Nikolay Petkov; Ray Duffy 出版日期：2023-05-15 |
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